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Deposición de películas delgadas de Diamond-like Carbon (DLC) utilizando la técnica DC-pulsada PECVD

Vargas Barrera, César Orlando (2017) Deposición de películas delgadas de Diamond-like Carbon (DLC) utilizando la técnica DC-pulsada PECVD. Maestría thesis, Universidad Nacional de Colombia – Sede (Bogotá).

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Resumen

Resumen. En este trabajo se realizó la deposición de películas delgadas de carbono amorfo hidrogenado usando la técnica DC-pulsada PECVD. Las películas fueron depositadas utilizando plasma de metano y variando la tensión de autopolarización aplicada al cátodo durante el crecimiento de las películas. El sustrato que se utilizó para depositar las películas fue silicio. Las películas fueron caracterizadas teniendo en cuenta las principales propiedades microestructurales y mecánicas. Los estudios llevados a cabo permitieron obtener los parámetros óptimos para la deposición de las películas de carbono amorfo hidrogenado empleando este sistema de deposición., Abstract. In this work, deposition of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) thin films using the pulsed-DC PECVD technique was carried out. The films were deposited using methane plasma and varying the self-bias voltage applied to the cathode during the growth of the films. Silicon substrates were used to deposit the films. The films were characterized taking into account the main microstructural and mechanical properties. These studies allowed obtaining the optimum parameters for the amorphous hydrogenated carbon films deposition using this deposition system.

Tipo de documento:Tesis/trabajos de grado - Thesis (Maestría)
Colaborador / Asesor:Capote Rodríguez, Gil
Información adicional:Magíster en Ciencias- Física. Línea de Investigación: Recubrimientos de DLC
Palabras clave:DLC, Recubrimientos, Sustrato de silicio, Metano, Películas de carbono amorfo hidrogenado, PECVD, Microestructura, Propiedades mecánicas, Coatings, Silicon substrate, Methane, Amorphous hydrogenated carbon films, Microstructure, Mechanical properties
Temática:5 Ciencias naturales y matemáticas / Science > 53 Física / Physics
5 Ciencias naturales y matemáticas / Science > 54 Química y ciencias afines / Chemistry
6 Tecnología (ciencias aplicadas) / Technology
6 Tecnología (ciencias aplicadas) / Technology > 66 Ingeniería química y Tecnologías relacionadas/ Chemical engineering
Unidad administrativa:Sede Bogotá > Facultad de Ciencias > Departamento de Física
Código ID:61022
Enviado por : César Orlando Vargas Barrera
Enviado el día :12 Dec 2017 21:12
Ultima modificación:12 Dec 2017 21:12
Ultima modificación:12 Dec 2017 21:12
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