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A reconstruction of objets by interferometric profilometry with positioning system of labeled target periodic

Arias-Hernández, Néstor Alonso and Molina Prado, Martha Lucía and Meneses Fonseca, Jaime Enrique (2015) A reconstruction of objets by interferometric profilometry with positioning system of labeled target periodic. DYNA, 82 (190). pp. 153-159. ISSN 2346-2183

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URL oficial: https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/articl...

Resumen

A method to extract 3D information using a white light interferometer without using PZT is presented. Instead a positioning system that uses the phase sensitivity of a target periodic is employed. The image treatment realized on the periodic target permits to calculate the relative distance between Mirau objective and object surface. Topographic reconstructions of objects with dimensions of some tenths of millimeters were calculated with an accuracy of approximately 28 nanometers. Theoretical analysis and experimental results are shown.

Tipo de documento:Artículo - Article
Palabras clave:profilometry, optical metrology, surface topography, Mirau interferometer.
Temática:6 Tecnología (ciencias aplicadas) / Technology > 62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Unidad administrativa:Revistas electrónicas UN > Dyna
Código ID:59063
Enviado por : Dirección Nacional de Bibliotecas STECNICO
Enviado el día :31 Oct 2017 17:20
Ultima modificación:27 Noviembre 2017 22:06
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